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      產品詳情
      • 產品名稱:半導體薄膜電子束蒸發鍍膜儀

      • 產品型號:CY-EBH500-SS
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      電子束蒸發方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料
      詳情介紹:

      該設備以電子束蒸發方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜.


      電子束蒸發鍍膜儀技術參數:

      產品名稱

      電子束蒸發鍍膜儀

      產品型號

      CY-EBH500-SS

      樣品臺

      外形尺寸

      <150mm,樣品臺可旋轉

      可調溫度

      500

      電子槍

      新型電子槍,6孔坩堝

      加熱燈

      4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

      真空腔體

      腔體尺寸

      Φ500*H500mm

      觀察窗口

      直徑φ100mm

      腔體材質

      304不銹鋼

      開啟方式

      前開門式

      膜厚測量

      采用SQM160膜厚儀進行監控,涂層厚度不均勻度小于6%。

      真空系統

      前級泵

      雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

      次級泵

      渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

      真空測量

      復合真空計(電離規+電阻規)

      系統真空

      5×10-5Pa

      水冷系統

      水壓<2.5bar 水壓監測

      加熱燈

      4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

      電極接口

      2路金屬蒸發電極接口

      控制系統

      CYKY自研專業級控制器

      其他參數

      供電電源

      AC380V,50Hz

      整機尺寸

      1000mm×800mm×1500mm

      整機功率

      20KW

      整機重量

      350kg

      豫公網安備 41019702002438號

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